涡旋真空泵的发展过程

　　涡旋理论是法国人 Leno Creux 于1905年以可逆转的涡旋膨胀机为题申请了美国专利。但由于当时的加工制造水平有限，涡旋盘涡旋齿型线的加工精度无法得到保证，涡旋机械在很长的一段时间内没有被制造出来。20 世纪 70 年代开始，能源危机的加剧和高精度数控机床的出现,为涡旋机械的发展带来了机遇,1973 年美国 Arthur D. Little(简称 A.D.L)公司首次提出了涡旋氮气压缩机的研究报告，展现出涡旋压缩机所具有其他压缩机无法比拟的优点，从而涡旋压缩机大规模的开发和研制走上了迅速发展的道路。

　　随着半导体、新材料和生物制药等行业的飞速发展，涡旋理论的不断成熟以及人们对真空环境清洁无油的迫切要求，涡旋真空泵以其独特的优点应运而生。20世纪80年代早期，涡旋真空泵以其密封性好，返油率低的特性被Coffin Do应用在高真空系统中。1987年,日本三菱电机公司首次成功开发回转型涡旋真空泵, 在结构和性能上显示了绝对的优势。1988年,立式回转型油润滑涡旋真空泵由日本东京大学的Morishita E研制成功。

　　干式真空泵与油润滑真空泵的区别在于,泵腔内不含任何的油类和液体。因此,解决泵内的密封和冷却问题是干式涡旋真空泵研究的关键。1990年，采用水冷方式进行冷却的卧式干式涡旋真空泵由 Kushiro T研制成功。1998年，采用风冷方式进行冷却的干式涡旋真空泵由 Sawada T研制成功，其主轴上装有两个冷却风扇，分别位于两个静盘的端部。